FFU操作指導(dǎo)書

1.開機前提前準備

1)開機前確定FFU空氣過濾網(wǎng)表層整潔，如有異物或塵土，用無塵擦拭布清除灰塵。不然會直接影響到濾棉使用壽命。

2.啟動

1)將開關(guān)電源按鍵開關(guān)置位“I”開啟總電源。

2)將日日光燈按鍵開關(guān)置位“I”即可開啟照明燈具。

3)將離心風(fēng)機調(diào)速開關(guān)順時針方向慢慢轉(zhuǎn)動，離心風(fēng)機隨著加快，反方向降速，拿手接近過濾，感到有一定排風(fēng)量吹出來就可以。

1)將開關(guān)電源按鍵開關(guān)置位“I”開啟總電源。

2)將離心風(fēng)機擋位撥中等速度MED，(可以通過快速HIG、中等速度MED、低LOW選擇適合自己的排風(fēng)量，用觸感接近過濾，覺有一定排風(fēng)量吹出來就可以。)

備注名稱：如果你已經(jīng)設(shè)定好各功能，也可以直接將電源總開關(guān)置位“I”也可以無須每一次按序啟動。

3.空氣潔凈度測試

1)用氣體顆粒計數(shù)器檢測，0.3μm顆粒低于300個，0.5μm顆粒低于100個，表明空氣潔凈已合格，就可以生產(chǎn)工作。

4.待機1)可以直接電源總開關(guān)置位“O”關(guān)掉總電源;確定離心風(fēng)機、照明燈具關(guān)閉就可以。

5.注意要點：

1)過濾棉每十二個月更換一次。

2)初效過濾網(wǎng)第每周清洗一次。

3)每天上下班搞好外界*方位清理。

風(fēng)淋設(shè)備由于操作比較簡單，所以對于每一個人來說，都是很容易操作的，而且學(xué)起來也很快，比如說有些場所裝平移自動門的空間不夠，然后就可以使用這種全自動感應(yīng)開門系統(tǒng)，在非接觸式感應(yīng)器的配合下，就可以非常輕松的完成，不但能夠節(jié)省空間，而且還能夠減少投資，密封性也是很好的。這種風(fēng)淋設(shè)備的使用能夠更好的為人們的工作增加效率，而且也能夠帶來很多的方便，在以后的發(fā)展當中都是會運用到它的，所以我們多了解關(guān)于它的信息還是很有必要的。

集成電路制造對無塵室自然環(huán)境控制有比較明確的規(guī)定，F(xiàn)FU恰好也是*凈化室不可或缺的凈化設(shè)備，不同類型的芯片工藝對清潔度的需求也不盡相同，比如光刻技術(shù)規(guī)定在1級免疫微環(huán)境下，而有機化學(xué)機械設(shè)備碾磨則要求的是1000級自然環(huán)境就可以。